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发明名称 APPARATUS FOR GAS PROCESSING
摘要
申请公布号 IL138903(D0) 申请公布日期 2001.11.25
申请号 IL19990138903 申请日期 1999.04.09
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人
分类号 H05H1/46;C23C16/452;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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