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发明名称
Charged-particle beam apparatus
摘要
申请公布号
EP0422655(B1)
申请公布日期
1999.06.09
申请号
EP19900119523
申请日期
1990.10.11
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
OTAKA, TADASHI
分类号
H01J37/20;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/20
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
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