| 发明名称 |
Laser based method and system for integrated circuit repair or reconfiguration |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL130269(D0) |
申请公布日期 |
2000.06.01 |
| 申请号 |
IL19970130269 |
申请日期 |
1997.10.29 |
| 申请人 |
ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/82;H01L23/52;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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