发明名称 SPUTTERING CATHODE TARGET FOR TRANSPARENT COATING AND THE SAME METHOD
摘要
申请公布号 KR100260337(B1) 申请公布日期 2000.07.01
申请号 KR19950004372 申请日期 1995.03.03
申请人 LEYBOLD MATERIALS GMBH 发明人 SCHLOTT MARTIN DR.;MARTIN KUTZNER;WERGERT MARTIN DR.;UWE KONIETZKA;GEHMAN BRUCE DR.;SHAWN VALSTROM
分类号 C04B35/00;C04B35/01;C04B35/457;C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/36 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
主权项
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