发明名称 |
SPUTTERING CATHODE TARGET FOR TRANSPARENT COATING AND THE SAME METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100260337(B1) |
申请公布日期 |
2000.07.01 |
申请号 |
KR19950004372 |
申请日期 |
1995.03.03 |
申请人 |
LEYBOLD MATERIALS GMBH |
发明人 |
SCHLOTT MARTIN DR.;MARTIN KUTZNER;WERGERT MARTIN DR.;UWE KONIETZKA;GEHMAN BRUCE DR.;SHAWN VALSTROM |
分类号 |
C04B35/00;C04B35/01;C04B35/457;C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/36 |
主分类号 |
C04B35/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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