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发明名称 Niedrigtemperaturverfahren zur Unterdrückung von Hügeln in Verbindungsleitungen von integrierten Schaltkreisen
摘要
申请公布号 DE60132707(D1) 申请公布日期 2008.03.20
申请号 DE20016032707 申请日期 2001.10.02
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 NGO, MINH VAN;HOPPER, DAWN M.;HUERTAS, ROBERT A.
分类号 H01L21/768;H01L21/318;H01L21/3213 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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