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发明名称
VERFAHREN ZUM ATOMSCHICHT-EPITAXIE-VERFAHREN
摘要
申请公布号
DE3743938(A1)
申请公布日期
1989.07.13
申请号
DE19873743938
申请日期
1987.12.23
申请人
CS HALBLEITER- UND SOLARTECHNOLOGIE GMBH
发明人
SCHOLZ,CHRISTOPH,DIPL.-CHEM.DR.
分类号
H01L21/203;C30B23/08;C30B25/02;C30B29/40
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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