发明名称 METHOD OF PRODUCING PHOTORESIST COATING
摘要
申请公布号 SU1329498(A1) 申请公布日期 1990.10.23
申请号 SU19853861454 申请日期 1985.02.21
申请人 BAZANOVA I.YU.,SU;BELOUS N.G.,SU;MATSKEVICH V.M.,SU;POPOVA N.S.,SU;YARANDIN V.A.,SU 发明人 BAZANOVA I.YU.,SU;BELOUS N.G.,SU;MATSKEVICH V.M.,SU;POPOVA N.S.,SU;YARANDIN V.A.,SU
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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