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发明名称
摘要
申请公布号 DE3231671(C2) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 DE19823231671 申请日期 1982.01.21
申请人 AT & T TECHNOLOGIES, INC., NEW YORK, N.Y., US 发明人 LEAMY, HARRY JOHN, SUMMIT, N.J., US
分类号 H01L21/20;C30B1/02;C30B3/00;C30B9/08;C30B13/00;C30B13/34;C30B29/06;H01L21/283;H01L21/84;H01L27/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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