发明名称 CLOTH FOR POLISHING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH058178(A) 申请公布日期 1993.01.19
申请号 JP19910263631 申请日期 1991.10.11
申请人 RODEELE NITTA KK 发明人 KUBO NAOTO
分类号 B24D11/00;C09K3/14;D06M13/02;D06M13/325;D06M13/335;D06M15/564;H01L21/304 主分类号 B24D11/00
代理机构 代理人
主权项
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