发明名称 Material und Verfahren zur Herstellung von Mikromustern
摘要
申请公布号 DE69030836(T2) 申请公布日期 1997.09.18
申请号 DE19906030836T 申请日期 1990.03.29
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD., MINAMI-ASHIGARA, KANAGAWA, JP 发明人 KOKUBO, TADAYOSHI, C/O FUJI PHOTO FILM CO.,LTD., YOSHIDA-CHO, HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP;UENISHI, KAZUYA, C/O FUJI PHOTO FILM CO.,LTD, YOSHIDA-CHO, HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP;TAN, SHIRO, C/O FUJI PHOTO FILM CO.,LTD., YOSHIDA-CHO, HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP;ISHII, WATARU, C/O FUJI-HUNT ELECTRONICS, YOSHIDA-CHO, HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP
分类号 C08K5/42;C09D161/06;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039;G03F7/26;G03F7/20;G03F7/32;C08G8/24 主分类号 C08K5/42
代理机构 代理人
主权项
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