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发明名称 AIR EXHAUST SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 KR0160384(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950034555 申请日期 1995.10.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, KWAN-SOO
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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