| 摘要 |
<p>Bei einem Verfahren oder einer Vorrichtung zum Kalibrieren von Temperaturmessungen, die mit wenigstens einem ersten Strahlungsdetektor zum Messen einer von wenigstens einem Substrat abgegebenen Wärmestrahlung vorgenommen werden, sind die folgenden Verfahrensschritte vorgesehen: Erwärmen eines wenigstens ein Referenzmaterial mit bekannter Schmelzpunkttemperatur tragendes Referenzsubstrats auf und/oder über die Schmelzpunkttemperatur; Messen der Wärmestrahlung des Referenzsubstrats während der Erwärmung und/oder einer der Erwärmung folgenden Abkühlung; In-Beziehung-Setzen eines während des Messvorgangs auftretenden Messwertplateaus mit der bekannten Schmelzpunkttemperatur. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist angegeben.</p> |
