增进超纯水水质稳定度的方法

摘要

一种增进超纯水水质稳定度的方法,是在超纯水的供水系统中—包括有前处理系统,超纯水回路和制程废水回收系统(包括洗涤废水回收系统,CMP制程废水回收系统(chemical mechanic polish waste water recovery system等等),强制对流体混合,使任一截面的流体,和前面及后面相邻的截面的流体彼此混合,再将最终产出之超纯水送至需要超纯水的物品上。

主权项

1.一种增进超纯水水质稳定度的方法，其特征在于该方法是在超纯水的供水系统中，强制对水搅拌或混合，使任一截面的水，可与前面及后面相邻截面的水混合，促使水中偶然聚集的其他物质分散，而使超纯水的水质保持一接近直线小幅度飘移的曲线关系，再供应至需要超纯水的物品上，以消除污染水截面的摧坏遽变。