| 发明名称 | 光刻装置及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻装置和方法以通过最小化光刻工艺线的总体布局而提高产量，其中光刻装置包括加载或者卸载基板的加载/卸载单元；在基板上涂敷光刻胶的涂敷线；曝光基板上涂敷的光刻胶的曝光线；显影曝光的基板的显影线；以及临时存放涂敷有光刻胶的基板并将该基板加载到曝光线上的传输线，并且所述传输线还临时存放曝光后的基板并将该基板加载到显影线上。 | ||
| 申请公布号 | CN101086625A | 申请公布日期 | 2007.12.12 |
| 申请号 | CN200610127823.6 | 申请日期 | 2006.09.20 |
| 申请人 | LG.菲利浦LCD株式会社 | 发明人 | 金龙勋;徐真愚 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1、一种光刻装置，包括加载或者卸载基板的加载/卸载单元；在基板上涂敷光刻胶的涂敷线；曝光基板上涂敷的光刻胶的曝光线；显影曝光的基板的显影线；以及临时存放涂敷有光刻胶的基板并将该基板加载到曝光线上并且临时存放曝光后的基板并将该基板加载到显影线上的传输线。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||