| 发明名称 | 一种铁基化合物超导薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 一种铁基化合物超导薄膜的制备方法。把铁基超导化合物靶材放入脉冲激光外延沉积系统中，在真空度低于9×10<sup>‑5</sup>Pa的环境下，以脉冲激光熔融铁基超导化合物靶材，并在加热的金属基带上沉积成膜。沉积过程中靶材和金属基带保持有距离；靶材和金属基带两者均保持自转。沉积完成后，降温至环境温度，形成铁基化合物超导薄膜。所述的金属基带为IBAD或RABiTS；金属基带的加热温度为350℃～950℃，沉积时间为50～200分钟，真空度低于9×10<sup>‑5</sup>Pa，激光能量密度为每脉冲100mJ～350mJ，靶材与金属基带之间的距离为3.5cm～5.5cm。所述的铁基超导化合物靶材为FeSe<sub>1‑x</sub>Te<sub>x</sub>，0.1<x<0.9或Ba(Fe<sub>1‑x</sub>Co<sub>x</sub>)<sub>2</sub>As<sub>2</sub>，0.05<x<0.9或BaFe<sub>2</sub>(As<sub>1‑x</sub>P<sub>x</sub>)<sub>2</sub>，0.1<x<0.9。 | ||
| 申请公布号 | CN105839056A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
| 申请号 | CN201610186647.7 | 申请日期 | 2016.03.29 |
| 申请人 | 中国科学院电工研究所 | 发明人 | 徐中堂;马衍伟;原蒲升 |
| 分类号 | C23C14/28(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 关玲 |
| 主权项 | 一种铁基化合物超导薄膜的制备方法，其特征在于所述的制备方法步骤如下：把铁基超导化合物靶材放入脉冲激光外延沉积系统中，在真空度低于9×10<sup>‑5</sup>Pa的环境下，以脉冲激光熔融铁基超导化合物靶材，在加热的金属基带上沉积成膜；沉积过程中靶材和金属基带保持有距离；靶材和金属基带两者均保持自转；沉积完成后，降温至环境温度，形成铁基化合物超导薄膜；所述的金属基带为IBAD或RABiTS；金属基带的加热温度为350℃～950℃，沉积时间为50～200分钟，真空度低于9×10<sup>‑5</sup>Pa，激光能量密度为每脉冲100mJ～350mJ，靶材与金属基带之间的距离为3.5cm～5.5cm；所述的铁基超导化合物靶材为FeSe<sub>1‑x</sub>Te<sub>x</sub>，0.1<x<0.9或Ba(Fe<sub>1‑x</sub>Co<sub>x</sub>)<sub>2</sub>As<sub>2</sub>，0.05<x<0.9或BaFe<sub>2</sub>(As<sub>1‑x</sub>P<sub>x</sub>)<sub>2</sub>，0.1<x<0.9。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北二条6号 | ||