| 摘要 |
ステージ装置は、定盤（３０）と、定盤（３０）上に搭載され、定盤に対向する面に噴出し口（７３）が形成されたウエハステージ（ＷＳＴ）とを備えている。定盤上にウエハステージ（ＷＳＴ）が着地した状態で、定盤（３０）とウエハステージ（ＷＳＴ）との間に気室（７２）が形成される。ステージ本体（２２）に設けられた噴き出し口（７３）から加圧気体が、気室（７２）内に噴出され、気室（７２）の内圧によりウエハステージ（ＷＳＴ）の自重がキャンセルされる。これにより、定盤上で停止したウエハステージを手動で移動することが可能になる。 |
