エピタキシャル反応器

摘要

実施例は、反応室、前記反応室内に位置し、ウエハーを載せるサセプタ、及び前記反応室内に流入するガスの流動を制御するガス流動制御部を含み、前記ガス流動制御部は、ガスの流れを分離する複数のガス流出口を有するインジェクトキャップ、及び前記複数のガス流出口のそれぞれに対応する各貫通ホールを含む複数のバッフルを含み、前記複数のバッフルのそれぞれは、互いに分離され、前記複数のガス流出口のうち対応するいずれか一つに隣接して配置される。【選択図】図１