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发明名称 EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号 US4117375(A) 申请公布日期 1978.09.26
申请号 US19760750669 申请日期 1976.12.15
申请人 OPTICAL ASSOCIATES, INCORPORATED 发明人 BACHUR, GERALD;RICHARDSON, GEORGE E.
分类号 G03B7/08;G03B27/16;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H05B37/02;H05B41/38 主分类号 G03B7/08
代理机构 代理人
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