发明名称 POINT-OF-USE VALVE FOR ULTRA-PURE WATER
摘要
申请公布号 JPH0429317(A) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 JP19900133784 申请日期 1990.05.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAYASHI NOBUATSU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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