发明名称 Vorrichtung zur Spaltmessung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE69214994(D1) 申请公布日期 1996.12.12
申请号 DE19926014994 申请日期 1992.04.29
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD., KYOTO, JP 发明人 SAKAI, TAKAMASA, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO., FUSHIMI-KU, KYOTO, JP;KOUNO, MOTOHIRO, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO., FUSHIMI-KU, KYOTO, JP;HIRAE, SADAO, C/O DAINIPPON SCREEN MFG. CO, FUSHIMI-KU, KYOTO, JP;NAKATANI, IKUYOSHI, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO., FUSHIMI-KU, KYOTO, JP
分类号 G01B11/02;G01B11/14;G01B11/30;G01S17/46;(IPC1-7):G01B11/14 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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