通过气相转移的方式对电子领域的专用气体进行提纯

摘要

本发明涉及一种对包含金属杂质的液化腐蚀性气体进行提纯的方法。该提纯方法的原理是基于将气相从原料容器以气相方式转移到接纳容器中。可发现,上述方法使金属浓度降低至少100倍,使所形成的浓缩物中的金属杂质值减少。上述气体转移是通过所控制的压差,而不是机械式泵送的方式实现的,从而不会产生颗粒或金属杂质。

主权项

1.一种对包含至少一种杂质的液相化合物进行提纯的设备，该设备包括：存放包含至少一种杂质的液相化合物的第一容器；存放经提纯的化合物的第二容器；第一流体管线，该管线以流体流动方式与第一容器和第二容器连通，以便将气相化合物从第一容器转移给第二容器；温度控制器，其用于保持第一容器和第二容器之间的温差，该温度控制器用于在上述化合物从第一容器转移到第二容器中时使上述化合物保持气相，当该化合物位于第二容器内时使该化合物液化；这样当气相化合物从第一容器转移到第二容器中时，上述至少一种杂质不从第一容器转移到第二容器中。