发明名称 PLANARIZED HETEROSTRUCTURES AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR0166958(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19890010745 申请日期 1989.07.27
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 HISASHI, SHICHIJO
分类号 H01L21/302;H01L21/20;H01L21/31;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址