发明名称 |
PLANARIZED HETEROSTRUCTURES AND FABRICATION METHOD THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
KR0166958(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.01 |
申请号 |
KR19890010745 |
申请日期 |
1989.07.27 |
申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
HISASHI, SHICHIJO |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/20;H01L21/31;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/18 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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