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发明名称 Verfahren und Anlage zum Behandeln von Substraten mittels Ionen aus einer Niedervoltbogenentladung
摘要
申请公布号 DE19725930(C2) 申请公布日期 2002.07.18
申请号 DE19971025930 申请日期 1997.06.16
申请人 DR. EBERHARD MOLL GMBH 发明人 MOLL, EBERHARD
分类号 H05H1/50;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/34;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/31;(IPC1-7):C23F4/00;H01J37/317 主分类号 H05H1/50
代理机构 代理人
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