真空线源蒸发镀膜方法及其装置

摘要

真空线源蒸发镀膜方法及其装置，涉及真空镀膜技术。本发明的镀膜方法是由精密加热器、高温导热油和液体金属组成的液体加热系统对蒸发舟加热，使舟内的材料达到蒸发(升华)温度，完成镀膜工艺。该发明的装置是由精密加热器、盛装液体金属的蒸发腔、有凹凸槽的蒸发舟、搅拌臂、狭缝盖板、防污染挡板、开关挡板、测温计等组成。舟的凹槽内可放入不同的材料，进行基质蒸发、掺杂、共蒸。装置中的精密加热器安置在真空系统之外。使用本发明可保证蒸发舟及舟中的材料受热温度均匀，蒸发速度稳定。该发明不但提高蒸发材料的有效利用率，提高蒸发速度，而且提高薄膜的蒸镀质量，并实现多种材料的共蒸、掺杂，还简化真空系统的装配和便于温度控制。

主权项

1.真空线源蒸发(升华)镀膜方法，其特征是由发热源和第一导热物质、第二导热物质组成的液体加热系统，对蒸发舟进行均匀加热，使蒸发舟中的蒸镀材料达到蒸发(升华)的温度，完成蒸镀工艺。