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发明名称 Sputter ion pump
摘要
申请公布号 EP1047106(B1) 申请公布日期 2007.07.18
申请号 EP19990123496 申请日期 1999.11.25
申请人 VARIAN S.P.A. 发明人 SPAGNOL, MIRIAM
分类号 H01J41/12;H01J41/20 主分类号 H01J41/12
代理机构 代理人
主权项
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