| 摘要 |
스퍼터링 장치가 제공된다. 스퍼터링 장치는 스퍼터링 챔버, 스퍼터링 챔버의 상부에 배치된 타겟, 스퍼터링 챔버의 하부에서 타겟에 대향하여 배치된 기판 지지대, 타겟 및 기판 지지대 사이에 배치되고, 스퍼터링 챔버의 내부를 상부 영역 및 하부 영역으로 분할하는 분리판, 상부 영역에 형성되고, 가스를 스퍼터링 챔버 내로 도입하는 유입구, 및 하부 영역에 형성되고, 도입된 가스를 반응 챔버 외부로 배출하는 배출구를 포함하되, 분리판은 복수의 슬릿을 포함한다. |
