ROBOT LOADABLE CENTRIFUGAL SEMICONDUCTOR PROCESSOR WITH EXTENDIBLE ROTOR

摘要

Dispositif (20) de traitement par centrifugation de tranches semi-conductrices et articles similaires. Ledit dispositif de traitement est spécialement conçu de manière à posséder une tête de rotor (400) automatiquement extensible et rétractable qui permet le chargement et le déchargement automatisé des tranches. Ledit dispositif comporte un ensemble arbre (300) qui comprend un arbre axialement extensible (362) commandé à l'aide d'un fluide sous pression. Ledit fluide sous pression est amené à l'ensemble arbre par un élément producteur de pression (430) dont on peut commander l'allongement et la rétraction en vue de sa mise en contact avec l'ensemble arbre lorsque la rotation est stoppée. L'ensemble arbre (300) comprend également de préférence un mécanisme axial de blocage (450) qui maintient les parties axialement extensibles de l'ensemble arbre dans une position axiale fixe pendant la rotation, tout en permettant le déblocage lorsque la rotation est stoppée, de manière à ce que l'ensemble arbre puisse s'étendre axialement.