发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0661444(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920212796 申请日期 1992.08.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HASHIZUME YASUYUKI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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