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发明名称 METHOD FOR FORMATION OF LOCAL FIELD OXIDE AT INSIDE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0661221(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19910077277 申请日期 1991.03.18
申请人 N C R INTERNATL INC 发明人 SUTEIIBUN ESU RII
分类号 H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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