发明名称 MASS FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH0683455(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920263240 申请日期 1992.09.05
申请人 STEC KK 发明人 SHIMOMURA MITSUZO;IWAMOTO MICHINORI
分类号 G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 主分类号 G05D7/06
代理机构 代理人
主权项
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