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发明名称 MASS FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH0683456(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920260853 申请日期 1992.09.03
申请人 M C ELECTRON KK 发明人 YONEYAMA SHIMAO
分类号 F16K31/02;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 主分类号 F16K31/02
代理机构 代理人
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