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发明名称
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申请公布号 JPH0636409(B2) 申请公布日期 1994.05.11
申请号 JP19890344635 申请日期 1989.12.28
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG 发明人 IZEKI IZURU;MATSUI HIROSHI;KITAGAWA MASARU;TAKEUCHI TSUTOMU
分类号 H01L21/205;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/30;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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