| 发明名称 |
PRODUCING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE, IDENTIFICATION CODE ASSIGNMENT METHOD WHICH IS USED IN THE METHOD, AND EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10144579(A) |
申请公布日期 |
1998.05.29 |
| 申请号 |
JP19960315535 |
申请日期 |
1996.11.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
FUJITA TAKAHIRO;TAKEHISA KIWAMU;SADOHARA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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