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发明名称 Heated fluid line
摘要
申请公布号 EP0616166(B1) 申请公布日期 2000.02.09
申请号 EP19940104186 申请日期 1994.03.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 EBBING, PETER F.;PANAGAS, PETER G., JR.
分类号 F16L53/00;H05B3/58;(IPC1-7):F16L53/00 主分类号 F16L53/00
代理机构 代理人
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