发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Gate-Struktur und Gate-Struktur für einen Transistor
摘要
申请公布号 DE102004004864(B4) 申请公布日期 2008.09.11
申请号 DE200410004864 申请日期 2004.01.30
申请人 QIMONDA AG 发明人 HAHN, JENS;SCHMIDBAUER, SVEN;BUERKE, AXEL
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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