BACKSIDE ILLUMINATED PHOTO-SENSITIVE DEVICE WITH GRADATED BUFFER LAYER

摘要

후면 조사 감광성 디바이스를 형성하는 방법은 희생 기판 상에 계조화 희생 버퍼층을 형성하는 단계, 계조화 희생 버퍼층 상에 균일한 층을 형성하는 단계, 균일한 층 상에 제 2 계조화 버퍼층을 형성하는 단계, 제 2 계조화 버퍼층 상에 실리콘층을 형성하는 단계, 실리콘층 상에 디바이스층을 배치하는 단계, 및 계조화 희생 버퍼층 및 희생 기판을 제거하는 단계를 포함한다.