发明名称 配线基板、多层配线基板及其制造方法
摘要 一种配线基板包括一绝缘层(1),形成有一逐渐尖细形贯通洞(2)、一第一配线层(3),用以覆盖该绝缘层(1)之上表面、一第二配线层(4),用以覆盖该绝缘层(1)之下表面、以及一导电层(5),用以覆盖该贯通洞(2)之内表面(2a)且于该逐渐尖细形贯通洞(2)之底部封闭该逐渐尖细形贯通洞(2)。
申请公布号 TW489589 申请公布日期 2002.06.01
申请号 TW089127322 申请日期 2000.12.19
申请人 电气股份有限公司 发明人 藤井 健三;平井 太郎
分类号 H05K3/46 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人 周良谋 新竹巿东大路一段一一八号十楼
主权项 1.一种配线基板,包含:(a)一绝缘层,形成有至少一逐渐尖细形贯通洞;(b)一第一配线层,用以覆盖该绝缘层之上表面;(c)一第二配线层,用以覆盖该绝缘层之下表面;以及(d)一导电层,覆盖该逐渐尖细形贯通洞之内表面且于该逐渐尖细形贯通洞之底部封闭该逐渐尖细形贯通洞。2.如申请专利范围第1项之配线基板,其中该导电层系积合于该第一配线层成为为一体。3.如申请专利范围第1项之配线基板,其中该导电层系积合于该第二配线层成为一体。4.如申请专利范围第1项之配线基板,其中该逐渐尖细形贯通洞之底部直径与该导电层之厚度T间之关系定义如下:≦2T。5.如申请专利范围第4项之配线基板,其中该直径系位于(含)10至40微米之范围内。6.如申请专利范围第4项之配线基板,其中该厚度T系位于(含)5至30微米之范围内。7.如申请专利范围第1至第6项中之任一项之配线基板,其中该逐渐尖细形贯通洞具有一关于该逐渐尖细形贯通洞之轴所形成的尖拔角,其位于(含)15至65度之范围内。8.如申请专利范围第1至第6项中之任一项之配线基板,其中该第一与第二配线层以及该导电层系由铜或铜合金所构成,且形成为接触该绝缘层,其间并未施加黏附剂。9.如申请专利范围第1至第6项中之任一项之配线基板,其中该第一与第二配线层以及该导电层包含一无电电镀层。10.如申请专利范围第1至第6项中之任一项之配线基板,其中该第一与第二配线层以及该导电层包含一无电电镀层与形成于该无电电镀层上之一有电电镀层。11.如申请专利范围第1至第6项中之任一项之配线基板,其中该绝缘层与该逐渐尖细形贯通洞于其表面之粗糙度位于(含)0.1至10微米之范围内。12.如申请专利范围第1至第6项中之任一项之配线基板,其中该绝缘层与该逐渐尖细形贯通洞于其表面之粗糙度位于(含)0.5至5微米之范围内。13.如申请专利范围第1至第6项中之任一项之配线基板,更包含一金属层,其部分或完全覆盖该第一与第二配线层中之至少一层。14.如申请专利范围第13项之配线基板,其中该金属层包含一金层。15.如申请专利范围第13项之配线基板,其中该金属层包含一钯层。16.如申请专利范围第13项之配线基板,其中该金属层包含一镍层与形成于该镍层上之一金层。17.如申请专利范围第13项之配线基板,其中该金属层包含一镍层与形成于该镍层上之一钯层。18.一种多层配线基板,包含:(a),复数层配线基板,其中每一层包括:(a1)一绝缘层,形成有至少一逐渐尖细形贯通洞;(a2)一第一配线层,用以覆盖该绝缘层之上表面;(a3)一第二配线层,用以覆盖该绝缘层之下表面,以及(ad)一导电层,覆盖该贯通洞之内表面且于该逐渐尖细形贯通洞之底部封闭该逐渐尖细形贯通洞;(b)一层间绝缘层,被夹于该配线基板间,用以使该配线基板相互电性绝缘;以及(c)一层间导电物,电连接一上配线基板之该第二配线层至一下配线基板之该第一配线层。19.如申请专利范围第18项之多层配线基板,其中该层间绝缘层系由黏附剂树脂所构成。20.如申请专利范围第19项之多层配线基板,其中该黏附剂树脂具有摄氏150度或更高之玻璃过渡温度。21.如申请专利范围第18项之多层配线基板,其中该层间绝缘层系由热塑性树脂所构成。22.如申请专利范围第21项之多层配线基板,其中该热塑性树脂具有摄氏150度或更高之玻璃过渡温度。23.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该层间导电物系由选自于由锡、铅、银、铜、金、以及铝所组成之族群中之一金属所构成。24.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该层间导电物系由一包括锡、铅,银、铜、金、以及铝中之至少二种金属之合金所构成。25.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该层间导电物系导电胶之形式。26.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该导电层系积合于该第一配线层成为一体。27.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该导电层系积合于该第二配线层成为一体。28.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该逐渐尖细形贯通洞之底部直径与该导电层之厚度T间之关系定义如下:≦2T。29.如申请专利范围第28项之多层配线基板,其中该直径系位于(含)10至40微米之范围内。30.如申请专利范围第28项之多层配线基板,其中该厚度T系位于(含)5至30微米之范围内。31.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该逐渐尖细形贯通洞具有一关于该逐渐尖细形贯通洞之轴所形成的尖拔角,其位于(含)15至65度之范围内。32.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该第一与第二配线层以及该导电层系由铜或铜合金所构成,且形成为接触该绝缘层,其间并未施加黏附剂。33.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该第一与第二配线层以及该导电层包含一无电电镀层。34.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该第一与第二配线层以及该导电层包含一无电电镀层与形成于该无电电镀层上之一有电电镀层。35.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,其中该绝缘层与该逐渐尖细形贯通洞于其表面之粗糙度位于(含)0.1至10微米之范围内。36.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之外层配线基板,其中该绝缘层与该逐渐尖细形贯通洞于其表面之粗糙度位于(含)0.5至5微米之范围内。37.如申请专利范围第18至第22项中之任一项之多层配线基板,更包含一金属层,其部分或完全覆盖该第一与第二配线层中之至少一层。38.如申请专利范围第37项之多层配线基板,其中该金属层包含一金层。39.如申请专利范围第37项之多层配线基板,其中该金属层包含一钯层。40.如申请专利范围第37项之多层配线基板,其中该金属层包含一镍层与形成于该镍层上之一金层。41.如申请专利范围第37项之多层配线基板,其中该金属层包含一镍层与形成于该镍层上之一钯层。42.一种配线基板之制造方法,包含下列步骤:(a)经由一绝缘层形成一逐渐尖细形贯通洞;(b)形成一导电层,用以覆盖该逐渐尖细形贯通洞之内表面,使得该逐渐尖细形贯通洞于其底部封闭;(c)形成一第一配线层于该绝缘层之上表面;以及(d)形成一第二配线层于该绝缘层之下表面。43.如申请专利范围第42项之配线基板之制造方法,其中该导电层、该第一配线层、以及该第二配线层系同时且积合一体地形成。44.如申请专利范围第42项之配线基板之制造方法,更包含使该绝缘层之该上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面粗糙之步骤。45.如申请专利范围第44项之配线基板之制造方法,更包含施加电镀催化剂至该绝缘层之粗糙的上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之粗糙的内表面之步骤。46.如申请专利范围第42.43.或44项之配线基板之制造方法,其中该导电层以及该第一与第二配线层系藉由无电电镀而形成。47.如申请专利范围第42.43.或44项之配线基板之制造方法,其中该导电层以及该第一与第二配线层系藉由无电电镀且随后有电电镀而形成。48.如申请专利范围第42.43.或44项之配线基板之制造方法,其中该逐渐尖细形贯通洞系藉由照射一雷射束至该绝缘层而形成。49.如申请专利范围第42.43.或44项之配线基板之制造方法,其中该逐渐尖细形贯通洞系藉由以强硷溶液蚀刻该绝缘层而形成。50.一种配线基板之制造方法,包含下列步骤:(a)经由一绝缘层形成一逐渐尖细形贯通洞;(b)形成一薄电镀层于整个该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面上;(c)除了第一、第二、与第三区域以外,形成一阻层于该薄电镀层上;(d)在该薄电镀层上,形成一第一配线层于该第一区域中、一第二配线层于该第二区域中、以及一导电层于该第三区域中,其中该第一配线层覆盖该绝缘层之上表面、该第二配线层覆盖该绝缘层之下表面、该导电层覆盖该逐渐尖细形贯通洞之内表面,使得该逐渐尖细形贯通洞于其底部封闭;(e)移除该阻层;以及(I)移除由该被移除的阻层所覆盖的该薄电镀层。51.如申请专利范围第50项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(b)中该薄电镀层系藉由无电电镀而形成。52.如申请专利范围第50项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(d)中该第一与第二配线层以及该导电层系藉由无电电镀而形成。53.如申请专利范围第50项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(d)中该第一与第二配线层以及该导电层系藉由有电电镀而形成。54.如申请专利范围第50项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(d)中该第一与第二配线层以及该导电层系藉由无电电镀且随后有电电镀而形成。55.如申请专利范围第50至54项中之任一项之配线基板之制造方法,更包含使该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面粗糙之步骤。56.如申请专利范围第50项之配线基板之制造方法,更包含施加电镀催化剂至粗糙的该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面之步骤。57.如申请专利范围第50至54项中之任一项之配线基板之制造方法,更包含形成一金属层使其部分或完全覆盖该第一与第二配线层中之至少一层之步骤。58.如申请专利范围第50至54项中之任一项之配线基板之制造方法,其中该逐渐尖细形贯通洞系藉由照射一雷射束至该绝缘层而形成。59.如申请专利范围第50至54项中之任一项之配线基板之制造方法,其中该逐渐尖细形贯通洞系藉由以强硷溶液蚀刻该绝缘层而形成。60.一种配线基板之制造方法,包含下列步骤:(a)经由一绝缘层形成一逐渐尖细形贯通洞;(b)除了第一、第二、与第三区域以外,形成一阻层于整个该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面上;(c)形成一第一配线层于该第一区域中、一第二配线层于该第二区域中、以及一导电层于该第三区域中,其中该第一配线层覆盖该绝缘层之上表面、该第二配线层覆盖该绝缘层之下表面、该导电层覆盖该逐渐尖细形贯通洞之内表面,使得该逐渐尖细形贯通洞于其底部封闭;以及(d)移除该阻层。61.如申请专利范围第60项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(c)中该第一与第二配线层以及该导电层系藉由无电电镀而形成。62.如申请专利范围第60项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(c)中该第一与第二配线层以及该导电层系藉由无电电且随后有电电镀而形成。63.如申请专利范围第60项之配线基板之制造方法,更包含使该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面粗糙之步骤。64.如申请专利范围第63项之配线基板之制造方法,更包含施加电镀催化剂至粗糙的该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面之步骤。65.如申请专利范围第60至64项中之任一项之配线基板之制造方法,更包含形成一金属层使其部分或完全覆盖该第一与第二配线层中之至少一层之步骤。66.如申请专利范围第60至64项中之任一项之配线基板之制造方法,其中该逐渐尖细形贯通洞系藉由照射一雷射束至该绝缘层而形成。67.如申请专利范围第60至64项中之任一项之配线基板之制造方法,其中该逐渐尖细形贯通洞系藉由以强硷溶液蚀刻该绝缘层而形成。68.一种配线基板之制造方法,包含下列步骤:(a)经由一绝缘层形成一逐渐尖细形贯通洞;(b)形成一第一电镀层于整个该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面上;(c)形成一第二电镀层于该第一电镀层上,该第二电镀层之厚度大于该第一电镀层之厚度;(d)除了第一、第二、与第三区域以外,形成一阻层于该第二电镀层上;(e)移除在该第一、第二、与第三区域中之该第二电镀层,以形成一第一配线层于该第一区域中、一第二配线层于该第二区域中、以及一导电层于该第三区域中,其中该第一与第二配线层以及该导电层系由该第一与第二电镀层所构成,该第一配线层覆盖该绝缘层之上表面、该第二配线层覆盖该绝缘层之下表面、该导电层覆盖该逐渐尖细形贯通洞之内表面,使得该逐渐尖细形贯通洞于其底部封闭;以及(I)移除该阻层。69.如申请专利范围第68项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(b)中该第一电镀层系藉由无电电镀而形成。70.如申请专利范围第68项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(c)中该第二电镀层系藉由无电电镀而形成。71.如申请专利范围第68项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(c)中该第二电镀层系藉由有电电镀而形成。72.如申请专利范围第68项之配线基板之制造方法,其中在该步骤(c)中该第二电镀层系藉由无电电镀且随后有电电镀而形成。73.如申请专利范围第68至72项中之任一项之配线基板之制造方法,更包含使该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面粗糙之步骤。74.如申请专利范围第73项之配线基板之制造方法,更包含施加电镀催化剂至粗糙的该绝缘层之上与下表面以及该逐渐尖细形贯通洞之内表面之步骤。75.如申请专利范围第68至72项中之任一项之配线基板之制造方法,更包含形成一金属层使其部分或完全覆盖该第一与第二配线层中之至少一层之步骤。76.如申请专利范围第68至72项中之任一项之配线基板之制造方法,其中该逐渐尖细形贯通洞系藉由照射一雷射束至该绝缘层而形成。77.如申请专利范围第68至72项中之任一项之配线基板之制造方法,其中该逐渐尖细形贯通洞系藉由以强硷溶液蚀刻该绝缘层而形成。78.一种多层配线基板之制造方法,其中每一层配线基板包括:(a)一绝缘层形成有至少一逐渐尖细形贯通洞;(b)一第一配线层,用以覆盖该绝缘层之上表面;(c)一第二配线层,用以覆盖该绝缘层之下表面;以及(d)一导电层,覆盖该贯通涡之内表面且于该逐渐尖细形贯通洞之底部封闭该逐渐尖细形贯通洞,该方法包含下列步骤:(a)桩叠复数个该配线基板,使得一上配线基板之该第二配线层经由一层间导电物而电连接于一下配线基板之该第一配线层,且使得一层间绝缘层夹于上与下配线基板间;以及(b)在真空条件下,施热至从该步骤(a)所造成的结果上。79.如申请专利范围第78项之配线基板之制造方法,其中更施加压力至从该步骤(a)所造成的结果上。80.如申请专利范围第78或第79项之配线基板之制造方法,其中该层间绝缘层系藉由涂覆液状黏附剂树脂或热塑性树脂而形成。81.如申请专利范围第78或第79项之配线基板之制造方法,其中该层间绝缘层系藉由印刷液状黏附剂树脂或热塑性树脂而形成。82.如申请专利范围第78或第79项之配线基板之制造方法,其中该层间绝缘层转录液状黏附剂树脂或热塑性树脂而形成。83.如申请专利范围第78或第79项之配线基板之制造方法,其中该层间绝缘层系藉由热叠制膜状黏附剂树脂或热塑性树脂而形成。84.如申请专利范围第78或第79项之配线基板之制造方法,其中该层间绝缘层系藉由在真空条件下叠制膜状黏附剂树脂或热塑性树脂而形成。图式简单说明:图1系习知的配线基板之剖面图。图2系另一习知的配线基板之剖面图。图3系依据本发明第一实施例之配线基板之剖面图。图4系依据第一实施例之配线基板之制造方法之流程图。图5A至5I系依据第一实施例之配线基板之剖面图,显示其制造方法之各步骤。图6系依据第一实施例之配线基板之另一制造方法之流程图。图7系依据第一实施例之配线基板之又一制造方法之流程图。图8系依据第一实施例之配线基板之再一制造方法之流程图。图9系依据本发明第二实施例之多层配线基板之剖面图。
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