| 主权项 |
1.一种自动系统,包括:一装载器(loader),用以将工件(workpiece)装载到工作站上;一工作装置,系包括(a)多个安全装置(safety device),用以连续对工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有不会因过了预定的工作时间而有所变化的特性;及(b)多个关键装置(critical device),用以连续对工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有会因过了预定的工作时间而有所变化的特性;一卸载器(unloader),用以将工作装置处理的工件(workpiece)卸载到待工卡匣(job waiting cassette);以及一阈装置(threshold device),用以于工件(workpiece)到达阈装置(threshold device)时,确定待工卡匣(job waitingcassette)是否已到达卸载器(unloader),并于确定卸载器(unloader)上有待工卡匣(job waiting cassette)时运送工件(workpiece)。2.如申请专利范围第1项的系统,其中阈装置(threshold device)是安全装置(safety device)之一。3.如申请专利范围第2项的系统,其中阈装置(threshold device)是最后的安全装置(safety device)。4.如申请专利范围第1项的系统,其中阈装置(thresholddevice)是第一关键装置(critical device)。5.如申请专利范围第1项的系统,其中,当工件(workpiece)到达阈装置(threshold device)时,阈装置(threshold device)会执行一项预定工作,并且,只有卸载器(unloader)上有待工卡匣(job waiting cassette)时,才会将工件(workpiece)运送到安全装置(safety device)或关键装置(critical device)。6.如申请专利范围第1项的系统,其中,当工件(workpiece)到达阈装置(threshold device)时,阈装置(threshold device)确定待工卡匣(job waiting cassette)是否位于卸载器(unloader)上,并执行对应的工作,然后,只有待工卡匣(job waiting cassette)位于卸载器(unloader)上时,才会将工件(workpiece)运送到安全装置(safetydevice)或关键装置(critical device)。7.如申请专利范围第1项的系统,其中,当装有工件(workpiece)的卡匣(cassette)到达装载器(loader)时,安全装置(safety device)的装载作业程序及工作的执行与待工卡匣(jobwaiting cassette)是否到达卸载器(unloader)无关。8.如申请专利范围第1项的系统,其中工件(workpiece)包括一些平面显示装置或含有薄膜电晶体液晶显示器(TFT-LCD)的半导体晶圆。9.一种自动系统,包括:一装载器(loader),用以将工件(workpiece)装载到工作站上;一工作装置,系包括(a)多个安全装置(safety deuice),用以连续对工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有不会因过了预定的工作时间而有所变化的特性;及(b)多个关键装置(critical device),用以连续对工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有会因过了预定的工作时间而有所变化的特性;一卸载器(unloader),用以将工作装置处理的工件(workpiece)卸载到待工卡匣(job waiting cassette);一阈装置(threshold device),用以确定待工卡匣(jobwaiting cassette)是否已到达卸载器(unloader);以及一设备控制器,用以控制装载器(loader)、工作装置、卸载器(unloader)、及阈装置(threshold device)的工作,并执行控制,例如,只有卸载器(unloader)上有待工卡匣(job waiting cassette)时,才会将工件(workpiece)从阈装置(threshold device)运送到接在阈装置(threshold device)之后的装置。10.如申请专利范围第9项的系统,其中阈装置(threshold device)是安全装置(safety device)之一。11.如申请专利范围第10项的系统,其中阈装置(threshold device)是最后的安全装置(safety device)。12.如申请专利范围第9项的系统,其中阈装置(thresholddevice)是第一关键装置(critical device)。13.如申请专利范围第9项的系统,其中系统进一步包括一主机,用以管理工件(workpiece)的资讯,并将工件(workpiece)的资讯输出到设备控制器,设备控制器至少部份以工件(workpiece)的资讯为基础,来控制装载器(loader)、工作装置、卸载器(unloader)、及阈装置(thresholddevice)。14.如申请专利范围第9项的系统,其中,只有完成阈装置(threshold device)的工作,且待工卡匣(jobwaiting cassette)已到达卸载器(unloader)时,设备控制器才会将工件(workpiece)运送到安全装置(safety device)或关键装置(critical device)。15.如申请专利范围第9项的系统,其中,当工件(workpiece)到达阈装置(threshold device)时,设备控制器确定待工卡匣(jobwaiting cassette)是否已到达卸载器(unloader),并执行阈装置(threshold device)的控制,例如,当待工卡匣(jobwaiting cassette)已到达卸载器(unloader)时执行预定的工作,然后将工件(workpiece)运送到安全装置(safetydevice)或关键装置(critical device)。16.如申请专利范围第9项的系统,其中,从装载器(loader)收到装有工件(workpiece)的卡匣(cassette)已到达装载器(loader)的资讯时,无论待工卡匣(job waiting cassette)是否已到达卸载器(unloader),设备控制器都会驱动装载器(loader)。17.如申请专利范围第9项的系统,其中工件(workpiece)是一种含有薄膜电晶体液晶显示器(TFT-LCD)之玻璃基材(glass substrate)的平面显示装置或半导体晶圆。18.一种自动系统,其包括一工作装置,该工作装置包括(i)多个安全装置(safety device),用以连续对工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有不会因过了预定的工作时间而有所变化的特性;及(ii)多个关键装置(critical device),连续对装载之工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有会因过了预定的工作时间而有所变化的特性,一种用以控制自动系统的方法,其包括下列的步骤:(a)将装有工件(workpiece)的卡匣(cassette)供应给自动系统时,将工件(workpiece)装载到工作站上;(b)执行对应于安全装置(safety device)之装载之工件(workpiece)的预定工作;(c)利用属于安全装置(safety device)之一的阈装置(threshold device),来确定是否有用以卸载工件(workpiece)的待工卡匣(job waiting cassette);(d)确定有待工卡匣(job waiting cassette)时,利用阈装置(threshold device)将工件(workpiece)运送到接在之后的装置;(e)执行对应于关键装置(critical device)之工件(workpiece)的预定工作;以及(f)将工件(workpiece)卸载到待工卡匣(job waitingcassette),藉此完成工件(workpiece)的所有工作。19.如申请专利范围第18项的系统,其中阈装置(thresholddevice)是紧接在关键装置(critical device)之前的安全装置(safety device)。20.如申请专利范围第18项的系统,其中,于步骤(c),卸载器(unloader)确定待工卡匣(job waiting cassette)是否已到达。21.如申请专利范围第18项的系统,其中,执行步骤(c)中的预定工作之前,阈装置(threshold device)先确定待工卡匣(job waitingcassette)是否已到达,之后,阈装置(threshold device)执行步骤(d),将工件(workpiece),运送到接在执行预定的工作之后的装置。22.一种自动系统,其包括一工作装置,该工作装置包括(i)多个安全装置(safety device),用以连续对装载之工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有不会因过了预定的工作时间而有所变化的特性;及(ii)多个关键装置(critical device),连续对装载之工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有会因过了预定的工作时间而有所变化的特性,一种用以控制自动系统的方法,其包括下列的步骤:(a)将装有工件(workpiece)的卡匣(cassette)供应给自动系统时,将工件(workpiece)装载到工作站上;(b)执行对应于安全装置(safety device)之装载之工件(workpiece)的预定工作;(c)当工件(workpiece)到达阈装置(threshold device)时,透过阈装置(threshold device)的操作来确定是否有待工卡匣(job waiting cassette),系用以将工件(workpiece)卸载到作为一第一关键装置(critical device)的阈装置(threshold device);(d)执行对应于阈装置(threshold device)之工件(workpiece)的预定工作,然后,确定有待工卡匣(job waitingcassette)时,将工件(workpiece)运送到接在之后的装置;(e)执行对应于关键装置(critical device)之工件(workpiece)的预定工作;以及(f)将工件(workpiece)卸载到待工卡匣(job waitingcassette),藉此完成工件(workpiece)的所有工作。23.一种自动系统,其包括一工作装置,该工作装置包括(i)多个安全装置(safety device),连续对装载之工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有不会因过了预定的工作时间而有所变化的特性;及(ii)多个关键装置(critical device),连续对装载之工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有会因过了预定的工作时间而有所变化的特性,一种用以控制自动系统的方法,其包括下列的步骤:(a)藉由装载器(loader)的操作,将持有工件(workpiece)之卡匣(cassette)的到达资讯传送到设备控制器;(b)藉由设备控制器的操作,驱动装载器(loader),以便执行载入之作业程序;(c)藉由阈装置(threshold device)的操作,将阈装置(threshold device)之工件(workpiece)的到达资讯传送到设备控制器,该阈装置(threshold device)作为安全装置(safety device)之一;(d)藉由设备控制器的操作,确定待工卡匣(job waitingcassette)是否已到达卸载器(unloader);(e)确定待工卡匣(job waiting cassette)已到达卸载器(unloader)时,藉由设备控制器的操作,将工件(workpiece)运送到接在阈装置(threshold device)之后的装置,以便继续执行工作;以及(f)完成关键装置(critical device)的所有工作时,藉由卸载器(unloader)的操作,将工件(workpiece)卸载到待工卡匣(job waiting cassette)。24.如申请专利范围第23项的系统,其中阈装置(threshold device)是紧接在关键装置(critical device)之前的安全装置(safety device)。25.如申请专利范围第23项的系统,其中阈装置(thresholddevice)执行预定工作,然后于步骤(c)传送工作完成的资讯,之后,设备控制器执行步骤(d)确定待工卡匣(job waiting cassette)是否已到达。26.如申请专利范围第23项的系统,其中,执行步骤(c)中的预定工作之前,阈装置(threshold device)先将工件(workpiece)的到达资讯传送到设备控制器,在步骤(d)传送工件(workpiece)的到达资讯后,设备控制器确定待工卡匣(job waiting cassette)是否已到达,并且,于步骤(e),当待工卡匣(job waiting cassette)已到达时,设备控制器执行控制,以便操作阈装置(threshold device)执行工作。27.一种自动系统,其包括一工作装置,该工作装置包括(i)多个安全装置(safety device),连续对装载之工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有不会因过了预定的工作时间而有所变化的特性;及(ii)多个关键装置(critical device),连续对装载之工件(workpiece)执行预定的工作,其中彼等工作具有会因过了预定的工作时间而有所变化的特性,一种用以控制自动系统的方法,其包括下列的步骤:(a)藉由装载器(loader)的操作,将持有工件(workpiece)之卡匣(cassette)的到达资讯传送到设备控制器;(b)藉由设备控制器的操作,驱动装载器(loader),以便执行载入之作业程序;(c)藉由阈装置(threshold device)的操作,将阈装置(threshold device)之工件(workpiece)的到达资讯传送到设备控制器,该阈装置(threshold device)作为第一关键装置(critical device);(d)藉由设备控制器的操作,确定待工卡匣(job waitingcassette)是否已到达卸载器(unloader);(e)确定待工卡匣(job waiting cassette)已到达卸载器(unloader)时,藉由设备控制器的操作,操作阈装置(threshold device)执行预定的工作,并且,将工件(workpiece)运送到接在阈装置(threshold device)之后的装置,以便继续执行工作;以及(f)完成关键装置(critical device)的所有工作时,藉由卸载器(unloader)的操作,将工件(workpiece)卸载到待工卡匣(job waiting cassette)。图式简单说明:图1显示根据本发明第一最佳具体实施例之自动系统的方块图;图2显示根据本发明第一最佳具体实施例之自动系统之安全区、关键区、及工时之间的关系图;图3显示根据本发明第一最佳具体实施例之自动系统的范例;图4显示根据本发明第一最佳具体实施例之自动系统之操作的流程图;图5显示根据本发明第二最佳具体实施例之自动系统的范例;以及图6显示根据本发明第二最佳具体实施例之自动系统之操作的流程图。 |
