发明名称 MARKING WAFER AND MARK DETECTION
摘要
申请公布号 JPH02218108(A) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 JP19890038766 申请日期 1989.02.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KANEDA HIROSHI;HASEGAWA HITOSHI;NAWATA TAKAHARU;SUZUKI UDE;SHIRAKAWA YOSHIMI
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址