发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03248423(A) 申请公布日期 1991.11.06
申请号 JP19900046103 申请日期 1990.02.26
申请人 NEC CORP 发明人 HASEGAWA HIDEKAZU
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址