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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04155839(A) 申请公布日期 1992.05.28
申请号 JP19900280868 申请日期 1990.10.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ODA TAKAO
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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