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发明名称 SURFACE PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH04155826(A) 申请公布日期 1992.05.28
申请号 JP19900278999 申请日期 1990.10.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAGUCHI SUMIO;INADA AKIISA;TOKUDA MITSUO;KAWASUMI KENICHI;FUJITO TOSHIAKI;HASHIZAKI MOTOHIRO
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/304 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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