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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH059756(A) 申请公布日期 1993.01.19
申请号 JP19910189421 申请日期 1991.07.04
申请人 KYODO PRINTING CO LTD 发明人 MIZUMOTO SHINJI;MATONO TOMOKAZU
分类号 C23F1/00;C23F1/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L23/50 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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