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发明名称 SCANNING CIRCUIT OF SEMICONDUCTOR TESTER
摘要
申请公布号 JPH05134005(A) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 JP19910265073 申请日期 1991.10.14
申请人 BERISHISU INC 发明人 NARUMI NAOAKI;KIMURA TAKASHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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