发明名称 OPTICAL TYPE POSITION MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05133743(A) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 JP19910295898 申请日期 1991.11.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAGAO TOSHISHIGE;TAKIOKA KOUJI
分类号 G01B11/00;G01C3/06;G02B27/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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