发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07130729(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930293901 申请日期 1993.10.30
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAJIMA HIDEHARU
分类号 H01L21/8247;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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