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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH09213907(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960350688 申请日期 1996.12.27
申请人 L G SEMICON CO LTD 发明人 DOUUHEON SON
分类号 H01L21/316;H01L21/265;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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