发明名称 UV ERASOR
摘要
申请公布号 JPH09213649(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960013875 申请日期 1996.01.30
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 TAKAIRA TATSUMI
分类号 H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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