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发明名称 Vorrichtung zur Behandlung von schichtförmigen Materialien mit Vakuum-Glimmentladung und Herstellungsverfahren einer Vakuum-Glimmentladung
摘要
申请公布号 DE69406501(D1) 申请公布日期 1997.12.04
申请号 DE19946006501 申请日期 1994.06.15
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD., MINAMI-ASHIGARA, KANAGAWA, JP 发明人 TAMAKI, HIROYUKI, FUJINOMIYA-SHI, SHIZUOKA, JP;TATSUTA, SUMITAKA, MINAMI-ASHIGARA-SHI, KANAGAWA, JP
分类号 B01J3/00;B29C59/14;B29C71/04;C08J7/00;C23C14/24;H01T19/00;(IPC1-7):H01T19/00;B29C59/10;G03C1/91 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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