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<p>Verfahren zum Richten eines Strahls auf unterschiedliche Positionen einer Fläche, wobei der Strahl eine Richtungsänderung durch definiertes Einwirken auf ihn derart erfährt, daß dieser Strahl einer definierten Position auf der Fläche zuordenbar ist, das dadurch gekennzeichnet ist, daß der Strahl mit einer Ausbreitungsrichtung in axialer oder z-Richtung einen Bereich in z-Richtung durchquert und daß auf den Strahl an definierten Zonen in z-Richtung innerhalb dieses Bereichs derart eingewirkt wird, daß ein definierter Strahl-Anteil an der definierten Zone um einen definierten Betrag eine Richtungsänderung erfährt. Weiterhin wird eine Vorrichtung zum Richten eines Strahls auf unterschiedliche Positionen einer Fläche sowie deren Verwendung angegeben.</p> |
